無塵車間，也稱為潔凈室是保證半導(dǎo)體，太陽能電池等對(duì)環(huán)境要求較高的行業(yè)進(jìn)行批量生產(chǎn)所條件要求。（本篇不展開細(xì)菌微生物內(nèi)容）。

懸浮微粒：一般指懸浮于空氣中的固態(tài)和液態(tài)微粒，其顆粒尺寸范圍約在0.1-5μm之間。如油，屬于液體狀態(tài)，也會(huì)形成微粒。

潔凈度：用于表示單位體積空間內(nèi)空氣中所含微粒大小及數(shù)量多少，是區(qū)分空間潔凈程度的標(biāo)準(zhǔn)。

高效空氣過濾器HEPA:在額定風(fēng)量下，對(duì)顆粒大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上，以及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

測(cè)試采樣：

儀器：激光粒子計(jì)數(shù)器。

采樣點(diǎn)：潔凈室內(nèi)一般在離地面0.8m高度的水平面上均勻布置。

             潔凈室面積較小時(shí)，可以在離地面0.8m-1.5m高度的區(qū)域內(nèi)分層采樣。

采樣量：

采樣分析，除了潔凈室環(huán)境空間外，如壓縮空氣中也會(huì)存在顆粒，壓縮空氣采集與普通環(huán)境相比，需要壓縮空氣采集器，可有效計(jì)算采集氣體量。