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大灣檢測助力國產(chǎn)光刻機(jī)壓縮空氣檢測 助力順利投產(chǎn)

2022-03-23

我們的芯片生產(chǎn)受限于人,就如我們咽喉被他人卡住,在自足研發(fā)的道路上,我們沒有停步,一直在努力,做為壓縮空氣檢測人,我們有著20年檢測檢驗,檢測檢驗豐富。


在電子半導(dǎo)體行業(yè),我們的客戶有富士康電子組裝,手機(jī)噴涂,OLED手機(jī)屏幕生產(chǎn)廠家,臺積電晶圓,光刻機(jī)后道封裝等。

我們檢測項目有含油量檢測,含水量檢測,塵埃粒子檢測,除壓縮空氣之外,高純氧,高純氮檢測也可檢測。

壓縮空氣檢測

壓縮空氣檢測


簡單而言,芯片制造涉及硅片制備、硅片制造、硅片測試/揀選、裝配與封測、最終測試五大生產(chǎn)階段,彼此獨(dú)立,而特種氣體,則或多或少參與到各個環(huán)節(jié)當(dāng)中。


比如,為向反應(yīng)系統(tǒng)提供所需能量,需要通過氣體混合,在硅片表面沉積一層固體膜,這種工藝稱為“化學(xué)氣相沉淀(CVD)",當(dāng)中常用的特種氣體就有高純氮、硅烷等;又如,高純四氟化碳、高純六氟乙烷等氟基氣體,是刻蝕工藝中所采用的主要介質(zhì)。


按照用途,特種氣體可劃分為摻雜氣、外延氣、離子注入用氣、LED用氣、光刻氣、載運(yùn)和稀釋氣體等大類。其中,光刻氣是光刻機(jī)產(chǎn)生深紫外激光的光源,不同的光刻氣產(chǎn)生的光源波長不同,直接影響光刻機(jī)的分辨率,是光刻機(jī)的核心之一。


特種氣體在純度、組成、有害雜質(zhì)最高含量、產(chǎn)品包裝貯存等方面均有極其嚴(yán)格的要求,屬于高技術(shù)、高附加值產(chǎn)品。大灣檢測注重在純度,有害雜質(zhì)檢測。如有更多壓縮空氣檢測技術(shù)問題,請咨詢大灣檢測客服。


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